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| 工艺制造 | |
| 摘 要： | 上海国家级集成电路研发中心建12英寸中试线由上海国家级集成电路研发中心投入11.5亿元建设的12英寸/65至45纳米级产品中试线土建工程即将完工,预示着中国首个纳米级IC工艺研发公共平台将在上海形成。上海国家级集成电路研发中心,是在上海市信息委组织推动下,由华虹集团、上海创投、上海大盛、张江集团、 |
| 关 键 词： | 上海市 半导体材料 国家级 纳米级 中试 研发中心 集成电路 公共平台 纳米工艺 土建工程 |
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