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| 梯度功能铁电陶瓷致动器的电致失效研究 | |
| 作者姓名： | 梁军 石志飞 杜善义 |
| 作者单位： | 1. 哈尔滨工业大学,哈尔滨,150001 2. 北京交通大学,北京,100044 |
| 摘 要： | 本文研究了以介电常数ε呈梯度变化时铅镁铌铁电陶瓷(ε-FGPMN)致动器的电致失效力学机理,通过梯度参数的优化设计,有效地降低了材料开裂的能量释放率,使得多层共烧铁电致动器的临界层厚度有明显的减小,满足微电子元件微型化发展需要. |
| 关 键 词： | 梯度功能铁电材料 有效电弹性能 电致失效 |
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