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| 电容式微机械加速度计部分力学特性的分析 | |
| 作者姓名： | 傅德生 苏伟 彭勃 |
| 作者单位： | 中国工程物理研究院,流体物理研究所,四川,绵阳,621900;中国工程物理研究院,流体物理研究所,四川,绵阳,621900;中国工程物理研究院,流体物理研究所,四川,绵阳,621900 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 加速度计 挠度 应力 差动电容 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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