| 沉积温度对碳膜结构及其场发射特性的影响 |
| |
| 引用本文： | 高金海,张兰,姚宁,张兵临.沉积温度对碳膜结构及其场发射特性的影响[J].真空电子技术,2007(6):59-61. |
| |
| 作者姓名： | 高金海 张兰 姚宁 张兵临 |
| |
| 作者单位： | 1. 郑州大学物理工程学院,河南,郑州,450002
2. 郑州大学工程力学学院,河南,郑州,450002 |
| |
| 摘 要： | 利用微波等离子体化学气相沉积法在覆盖金属钛层的陶瓷衬底上,利用改变衬底温度方法沉积不同结构的碳膜。通过扫描电子显微镜、拉曼光谱对碳膜进行了分析测试,并研究了不同衬底温度下沉积的碳膜的场致电子发射特性。对于在衬底温度800℃时制备的碳膜,在电场3.3 V/μm时,最大场发射电流密度达1 mA/cm2。
|
| 关 键 词： | 微波等离子体化学气相沉积 场致电子发射 金刚石聚晶 |
| 文章编号： | 1002-8935（2007）06-0059-03 |
| 收稿时间： | 2007-05-31 |
| 修稿时间： | 2007-07-06 |
The Effects of the Growth Temperature of Carbon Films on Its Structure and Field Emission Properties |
| |
| GAO Jin-hai,ZHANG Lan,YAO Ning,ZHANG Bing-lin.The Effects of the Growth Temperature of Carbon Films on Its Structure and Field Emission Properties[J].Vacuum Electronics,2007(6):59-61. |
| |
| Authors: | GAO Jin-hai ZHANG Lan YAO Ning ZHANG Bing-lin |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Microwave plasma chemical vapor deposition Field emission Diamond microcrystalline-aggregate |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
