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| 用GK型炉控制器代替YT—8B型炉控制器的有益偿试 | |
| 作者姓名： | 萧乾清 王利民 |
| 作者单位： | 重庆光电技术研究所(萧乾清)，重庆光电技术研究所(王利民) |
| 摘 要： | YT—8B型晶体管自动控温管式炉是半导体器件制造中的常用设备。由于长期使用,加之各种原因的腐蚀,元器件参数和性能发生很大变化,使得该设备的温度重复性差,控温精度无法保证。例如,44所三室的一台YT—8B型炉就属于这类情况,于79年报废。但该设备具有体积小、重量轻、升温快、使用方便等优点,因此有必要通过技术改造, |
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