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分类号
杂志ISSN号
一台清洁超高真空设备通过鉴定
作者单位:
航空航天部511所 信息员
摘 要:
航空航天部511所,根据卫星用继电器超高真空冷焊试验的要求,于1989年9月建成一台新型清洁超高真空设备。该设备采用制冷机低温泵和溅射离子泵组合抽气。直径300mm的系统在烘烤温度不超过85℃,烘烤时间不超过24h,不另外使用液氮的情况下,停止烘烤后抽
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