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《微电子机械系统》
摘 要:
本书介绍了微电子机械系统(MEMS)的相关基础知识、MEMS主要工艺和器件结构等方面内容,对该领域的热点研究问题进行了探讨,主要内容分为五个部分,首先介绍MEMS的相关力学量测量方法,使读者对力学量方面的知识有详细的了解,然后介绍MEMS中的主要工艺,在此基础上,系统介绍MEMS中的传感器部分,包括传感器的原理、结构和实现方法,
关 键 词:
微电子机械系统 MEMS 基础知识 器件结构 测量方法 力学量 传感器 工艺
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