| 多晶硅冶金法除磷的研究进展 |
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| 引用本文： | 郑淞生,陈朝,罗学涛.多晶硅冶金法除磷的研究进展[J].材料导报,2009,23(19). |
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| 作者姓名： | 郑淞生 陈朝 罗学涛 |
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| 作者单位： | 1. 厦门大学材料学院材料科学与工程系,厦门,361005
2. 厦门大学物理与机电学院物理学系,厦门,361005 |
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| 基金项目： | 福建省自然科学基金重点项目上，福建省重大科技专项 |
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| 摘 要： | 磷是多晶硅中的一种主要杂质元素,目前国内外采用冶金法除磷的工艺主要包括酸洗除磷、合金定向凝固除磷和真空除磷工艺.其中,酸洗除磷工艺可以很有效地去除磷杂质,但仍未达到太阳能级多晶硅小于0.1×10-4%(质量分数)的要求.采用合金定向凝固工艺可以去除80%以上的磷杂质,但目前对凝固后硅中残留溶剂金属的去除方法还有待进一步的研究.通过真空感应熔炼实验已将磷含量从15×10-4%(质量分数)降低至0.8×10-5%(质量分数),并对除磷的热力学条件进行了初步探索.
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| 关 键 词： | 多晶硅 冶金法 除磷 |
Research Progress in Phosphorus Removal by Metallurgical Refining |
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| ZHENG Songsheng,CHEN Chao,LUO Xuetao.Research Progress in Phosphorus Removal by Metallurgical Refining[J].Materials Review,2009,23(19). |
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| Authors: | ZHENG Songsheng CHEN Chao LUO Xuetao |
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| Affiliation: | ZHENG Songsheng 1,CHEN Chao 2,LUO Xuetao1(1 Department of Materials Science , Engineering,College of Materials,Xiamen University,Xiamen 361005,2 Department ofPhysics,College of Physics , Mechanical Electronic Engineering,Xiamen 361005) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | polysilicon metallurgical method phosphorus removal |
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