| 利用表面等离子体波提高铂硅红外探测器量子效率 |
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| 引用本文： | 康冰心,李华高,王岭雪,熊平,陈红兵,李立,蔡毅. 利用表面等离子体波提高铂硅红外探测器量子效率[J]. 红外与毫米波学报, 2016, 35(5): 550-556 |
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| 作者姓名： | 康冰心 李华高 王岭雪 熊平 陈红兵 李立 蔡毅 |
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| 作者单位： | 北京理工大学光电学院,中国电子科技集团公司第44研究所 固体图像传感器事业部,北京理工大学光电学院,中国电子科技集团公司第44研究所 固体图像传感器事业部,中国电子科技集团公司第44研究所 固体图像传感器事业部,中国电子科技集团公司第44研究所 固体图像传感器事业部,北京理工大学光电学院 |
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| 摘 要： | 为提高铂硅肖特基势垒红外探测器的量子效率,文章将平坦的铂硅-p型硅金半接触界面设计成光栅结构,利用光栅耦合激发表面等离子波效应提高铂硅红外探测器光耦合效率.采用严格耦合波分析方法优化了光栅结构参数以及模拟了探测器在等离子共振波长处的电场分布.最后探讨了光耦合效率与铂硅红外探测器量子效率的定量关系,发现在3~5μm波段光栅结构的量子效率较平坦结构能提高2倍多,在波长3μm和3.4μm时分别提高2.94和2.5倍.
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| 关 键 词： | 肖特基势垒红外探测器 表面等离子波 光栅耦合 量子效率 |
| 收稿时间： | 2015-09-30 |
| 修稿时间： | 2015-12-21 |
Quantum efficiency enhancement for PtSi infrared detector by surface plasma waves |
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| KANG Bing-Xin,LI Hua-Gao,WANG Ling-Xue,XIONG Ping,CHEN Hong-Bing,LI Li and CAI Yi. Quantum efficiency enhancement for PtSi infrared detector by surface plasma waves[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2016, 35(5): 550-556 |
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| Authors: | KANG Bing-Xin LI Hua-Gao WANG Ling-Xue XIONG Ping CHEN Hong-Bing LI Li CAI Yi |
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| Affiliation: | Department of Optoelectronics, Beijing Institute of Technology,Department of Solid Image Sensor, The 44th Research Institute of China Electronic Equipment,Department of Optoelectronics, Beijing Institute of Technology,Department of Solid Image Sensor, The 44th Research Institute of China Electronic Equipment,Department of Solid Image Sensor, The 44th Research Institute of China Electronic Equipment,Department of Solid Image Sensor, The 44th Research Institute of China Electronic Equipment,Department of Optoelectronics, Beijing Institute of Technology |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Schottky barrier infrared detectors surface plasma waves grating coupling quantum efficiency |
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