高纯气供气方式商榷

<正>介绍了半导体生产用高纯气体的品种、纯度以及使用特点,并介绍了高纯气的制取方法(水电解法制氢,深冷分离法制氮、氧、氩,以及吸附法制氮、氧、氩等)。高纯气的输送方式有现场设制气站管道输送、液态气体输送和气瓶输送三种。指出高纯气体的生产成本由制气和纯化费用组成,其中电费占很大比例:高纯氢约占70~80%、空分氮氧占50~70%。通