| 功率晶体管芯片的电泳法玻璃钝化研究 |
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| 引用本文： | 林逸青,刘园丁.功率晶体管芯片的电泳法玻璃钝化研究[J].哈尔滨工业大学学报,1989(5):88-92. |
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| 作者姓名： | 林逸青 刘园丁 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学半导体物理与器件教研室，哈尔滨工业大学半导体物理与器件教研室，哈尔滨工业大学半导体物理与器件教研室 |
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| 摘 要： | 本文介绍了电泳法淀积7801—5锌系玻璃粉钝化功率晶体管芯,并对电泳法原理、影响因素、玻璃粉烧结工艺进行了探讨;对钝化前后的器件做了测试;管芯反向漏电流得到改善,钝化后管芯分别在250℃和175℃温度下进行高温贮存试验取得满意结果.说明电泳法淀积7801—5锌系玻璃粉钝化工艺可提高半导体器件的稳定性和可靠性.
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| 关 键 词： | 功率晶体管 芯片 电泳 玻璃 纯化 |
The Passivation of Power Transistorchips with Electrophoresis Glass Powder |
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| Lin Yiqing Liu Yuanding Huang Babo.The Passivation of Power Transistorchips with Electrophoresis Glass Powder[J].Journal of Harbin Institute of Technology,1989(5):88-92. |
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| Authors: | Lin Yiqing Liu Yuanding Huang Babo |
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| Affiliation: | Lin Yiqing Liu Yuanding Huang Babo |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Electrophoresis passivation sintering transistor |
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