| 多弧离子镀镀制掺氮二氧化钛薄膜及其光吸收特性的研究 |
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| 引用本文： | 马永新,周友苏,万春萍,彭京龙. 多弧离子镀镀制掺氮二氧化钛薄膜及其光吸收特性的研究[J]. 真空, 2006, 43(5): 1-5 |
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| 作者姓名： | 马永新 周友苏 万春萍 彭京龙 |
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| 作者单位： | 北京联合大学机电学院,北京,100020 |
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| 摘 要： | 利用多弧离子镀在玻璃衬底上制备了TiO2薄膜和氮掺杂的TiO2薄膜样品，并对样品进行了220～500℃温度的热处理，通过X射线衍射（XRD）以及UV—Vis分光光度计等测试手段对热处理前后的样品的结构、光吸收特性进行了分析。结果表明：制备出的薄膜为非晶态结构，热处理后向锐钛矿、金红石相转变。理想工艺下镀制的掺氮TiO2薄膜经400℃热后，TiO2薄膜的光吸收限可由385nm红移至500nm。
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| 关 键 词： | 多弧离子镀 二氧化钛 薄膜 氮掺杂 光吸收特性 |
| 文章编号： | 1002-0322（2006）05-0001-05 |
| 收稿时间： | 2005-11-03 |
| 修稿时间： | 2005-11-03 |
Study on light absorption properties of nitrogen-doped titanium dioxide thin films prepared by multi-arc ion coating |
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| MA Yong-xin,ZHOU You-su,WAN Chun-ping,PENG Jing-long. Study on light absorption properties of nitrogen-doped titanium dioxide thin films prepared by multi-arc ion coating[J]. Vacuum(China), 2006, 43(5): 1-5 |
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| Authors: | MA Yong-xin ZHOU You-su WAN Chun-ping PENG Jing-long |
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| Affiliation: | Electrornechanics College of Beijing Union University, Beijing 100020, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | multi-arc ion coating TiO2 thin film nitrogen doping light absorption properties |
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