| 移相式微分干涉相衬显微测量系统的研制 |
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| 引用本文： | 惠梅,李庆祥,等.移相式微分干涉相衬显微测量系统的研制[J].光电子．激光,2002,13(11):1141-1144. |
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| 作者姓名： | 惠梅 李庆祥 |
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| 作者单位： | 清华,大学精密仪器与机械学院,精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(59975052) |
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| 摘 要： | 在微分干涉相衬显微镜的基础上，加入波片相移装置及图像采集处理，建立了移相式微分干淑相衬显微测量系统；分析并解决了表面微观形貌测量中存在的一些技术难题；准确地重构出了物体的微观三维形貌，实现了物体的表面高度及粗糙度Ra的高精度测量。结果表明：粗糙度重复测量精度为1.2nm；形貌高度分辨率为4.6nm。
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| 关 键 词： | 移相式 显微测量 微分干涉相衬 表面微观形貌 显微镜 图像采集 |
| 文章编号： | 1005-0086(2002)11-1141-04 |
| 修稿时间： | 2002年6月19日 |
The Manufacture of a Phase Stepping Differential Interference Contrast Microscopy Measuring System |
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