| 大气环境下多晶硅薄膜的疲劳性能 |
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| 引用本文： | 吴昊,孟永钢,苏才钧,郭占社,温诗铸. 大气环境下多晶硅薄膜的疲劳性能[J]. 机械强度, 2007, 29(6): 919-922 |
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| 作者姓名： | 吴昊 孟永钢 苏才钧 郭占社 温诗铸 |
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| 作者单位： | 清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,100084;清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,100084;清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,100084;清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,100084;清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 , 中国基础研究项目 , 清华大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 为评估多晶硅薄膜材料的加载可靠性,发展一种新型多晶硅薄膜疲劳性能测试实验系统,利用片外测试方法研究多晶硅薄膜在大气环境下的拉伸疲劳特性.实验试件采用MEMS(micro-electro-mechanical systems)工艺制造,具有相同的长度、厚度和不同的宽度.每个加载条件下重复10次实验,应用Weibull方法对疲劳实验数据进行处理,得到0.35 GPa～0.70 GPa应力幅值范围内5个应力水平下多晶硅薄膜拉伸疲劳的S-N曲线.研究表明,多晶硅薄膜的疲劳寿命随着交变载荷幅值的减小而增大,二者呈对数线性关系.该结果可以直接用于多晶硅薄膜材料MEMS器件的可靠性设计.
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| 关 键 词： | 微机电系统 多晶硅 薄膜 疲劳 |
| 收稿时间： | 2006-02-15 |
| 修稿时间： | 2006-05-22 |
FATIGUE PROPERTY OF POLYSILICON THIN FILMS IN AMBIENT ENVIRONMENT |
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| WU Hao,MENG YongGang,SU CaiJun,GUO ZhanShe,WEN ShiZhu. FATIGUE PROPERTY OF POLYSILICON THIN FILMS IN AMBIENT ENVIRONMENT[J]. Journal of Mechanical Strength, 2007, 29(6): 919-922 |
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| Authors: | WU Hao MENG YongGang SU CaiJun GUO ZhanShe WEN ShiZhu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Micro-electro-mechanical systems(MEMS) Polysilicon Thin film Fatigue |
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