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PtSi/p—Si异质薄膜研究的新进展
作者姓名:
李雪 殷景华
摘 要:
综述了PtSi/p-Si异质薄膜近年来研究的新进展,包括PtSi/p-Si的制备工艺、相形成与分布、PtSi/p-Si界面的微结构、价电子结构以及PtSi/p-Si肖特基势垒的研究现状,并且探讨了PtSi/p-Si的发展方向。
关 键 词:
异质薄膜 微结构 硅 PtSi/p-Si 半导体材料
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