| CVD金刚石膜生长过程的Raman分析 |
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| 引用本文： | 杨仕娥,李会军,边超,王小平,马丙现,姚宁,张兵临. CVD金刚石膜生长过程的Raman分析[J]. 真空与低温, 2002, 8(2): 90-92 |
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| 作者姓名： | 杨仕娥 李会军 边超 王小平 马丙现 姚宁 张兵临 |
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| 作者单位： | 郑州大学,材料物理重点实验室,河南,郑州,450052 |
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| 基金项目： | 河南省科技发展计划基金资助课题 (批准号 :991110 130 ) |
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| 摘 要： | 采用激光Raman散射分析法对CVD金刚石膜的生长过程进行研究 ,讨论在金刚石膜生长的不同阶段 ,膜内金刚石和非金刚石成分的相对含量及其残余应力的变化情况
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| 关 键 词： | 金刚石膜 Raman散射 非晶碳 |
| 文章编号： | 1006-7086(2002)02-0090-03 |
| 修稿时间： | 2001-11-26 |
RAMAN ANALYSIS ON GROWTH PROCESS OF CVD DIAMOND FILMS |
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| YANG Shi-e,LI Hui-jun,BIAN Chao,WANG Xiao-ping,MA Bing-xian,YAO Ning,ZHANG Bing-lin. RAMAN ANALYSIS ON GROWTH PROCESS OF CVD DIAMOND FILMS[J]. Vacuum and Cryogenics, 2002, 8(2): 90-92 |
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| Authors: | YANG Shi-e LI Hui-jun BIAN Chao WANG Xiao-ping MA Bing-xian YAO Ning ZHANG Bing-lin |
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| Abstract: | Laser Raman analyes was carried out to investigate the growth process of CVD diamond films.By Raman spectroscopy,the variation of the relative contents of the diamond and non-diamond carbon phases was discussed,and the residual stresses in the diamond films at different growth stages were estimated. |
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| Keywords: | diamond films Raman scattering amorphous carbon |
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