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CVD金刚石膜生长过程的Raman分析
引用本文:杨仕娥,李会军,边超,王小平,马丙现,姚宁,张兵临. CVD金刚石膜生长过程的Raman分析[J]. 真空与低温, 2002, 8(2): 90-92
作者姓名:杨仕娥  李会军  边超  王小平  马丙现  姚宁  张兵临
作者单位:郑州大学,材料物理重点实验室,河南,郑州,450052
基金项目:河南省科技发展计划基金资助课题 (批准号 :991110 130 )
摘    要:采用激光Raman散射分析法对CVD金刚石膜的生长过程进行研究 ,讨论在金刚石膜生长的不同阶段 ,膜内金刚石和非金刚石成分的相对含量及其残余应力的变化情况

关 键 词:金刚石膜  Raman散射  非晶碳
文章编号:1006-7086(2002)02-0090-03
修稿时间:2001-11-26

RAMAN ANALYSIS ON GROWTH PROCESS OF CVD DIAMOND FILMS
YANG Shi-e,LI Hui-jun,BIAN Chao,WANG Xiao-ping,MA Bing-xian,YAO Ning,ZHANG Bing-lin. RAMAN ANALYSIS ON GROWTH PROCESS OF CVD DIAMOND FILMS[J]. Vacuum and Cryogenics, 2002, 8(2): 90-92
Authors:YANG Shi-e  LI Hui-jun  BIAN Chao  WANG Xiao-ping  MA Bing-xian  YAO Ning  ZHANG Bing-lin
Abstract:Laser Raman analyes was carried out to investigate the growth process of CVD diamond films.By Raman spectroscopy,the variation of the relative contents of the diamond and non-diamond carbon phases was discussed,and the residual stresses in the diamond films at different growth stages were estimated.
Keywords:diamond films  Raman scattering  amorphous carbon  
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