| 基于滑膜阻尼的间接连接型音叉式微机械陀螺 |
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| 引用本文： | 文永蓬,王安麟,姜涛,刘钊,刘广军.基于滑膜阻尼的间接连接型音叉式微机械陀螺[J].微细加工技术,2008(4). |
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| 作者姓名： | 文永蓬 王安麟 姜涛 刘钊 刘广军 |
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| 作者单位： | 同济大学,机械工程学院,上海,201804 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，教育部高等学校博士学科点专项科研基金，中国博士后科学基金 |
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| 摘 要： | 以提高微机械陀螺性能为目的,设计了一种新颖的音又振动式微机械陀螺.该陀螺的特征在于:驱动和检测模态都是面内的,主要的空气阻尼是滑膜阻尼,使系统具有较低的能量损失和较高的Q值;对称的音叉式结构使检祆测电容加倍,并且由于中间结构的采用,对于加工误差具有较好的健壮性;采用驱动和检测方向具有较大刚度比的近似U型梁,使机械耦合大大降低.动力学分析的结果表明,该陀螺具有较高的稳定性和灵敏度.这不仅为获得高性能微机械陀螺提供了一种可行的设计方案,同时也为其它MEMS产品的设计提供了重要的参考价值.
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| 关 键 词： | 微陀螺 滑膜阻尼 间接连接 健壮性 |
A Tuning Fork Microgyroscope with Indirect Connection and Slide-film Damping |
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| WEN Yong-peng,WANG An-lin,JIANG Tao,LIU Zhao,LIU Guang-jun.A Tuning Fork Microgyroscope with Indirect Connection and Slide-film Damping[J].Microfabrication Technology,2008(4). |
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| Authors: | WEN Yong-peng WANG An-lin JIANG Tao LIU Zhao LIU Guang-jun |
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| Affiliation: | WEN Yong-peng,WANG An-lin,JIANG Tao,LIU Zhao,LIU Guang-jun(School of Mechanical Engineering,Tongji University,Shanghai 201804,China) |
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| Abstract: | A novel in-plane tuning fork microgyroscope with indirect connection and slide-film damping in the drive and sense directions is presented in the study,focusing on the investigations of the performance of the microgyroscope.The drive and sense mode are all in-plane,and the dominant air damping is slide-film damping,which makes feasible to reduce energy loss of the system.The symmetric tuning fork structure can enable the sense capacitance doubling,and can gain robustness to fabrication imperfection due to t... |
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| Keywords: | MEMS |
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