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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
磁控溅射WO_3薄膜的制备及其NO_2气敏特性研究
作者姓名:
沈岩柏
范安锋
张宝庆
曹先敏
魏德洲
刘文刚
高淑玲
作者单位:
东北大学资源与土木工程学院
基金项目:
国家优秀青年科学基金资助项目(51422402);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(N120501002);教育部高等学校博士学科点专项科研基金新教师类资助项目(20130042120033);教育部留学回国人员科研启动基金资助项目(47-3);辽宁省高等学校优秀人才支持计划资助项目(LJQ2013025)
摘 要:
采用直流反应磁控溅射法,在室温条件下通过改变放电气体压强制备出具有不同膜密度的WO3薄膜。结构表征结果表明,由单斜晶WO3纳米颗粒组成的薄膜具有层状结构,随着放电气体压强的增加,膜密度呈下降趋势。气敏特性研究结果表明,由WO3薄膜制备而成的气体传感器在工作温度为200℃时获得对NO2气体的最大灵敏度,并在50~300℃的工作温度范围内对NO2气体均展现出良好的气敏特性。在相同的检测条件下,气体灵敏度随着膜密度的减少而增加。
关 键 词:
WO3
薄膜
磁控溅射
NO2
气敏特性
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