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微小型一体化电容式测压器的设计与实现
引用本文:叶娟,李新娥,李政清.微小型一体化电容式测压器的设计与实现[J].传感器与微系统,2011,30(7).
作者姓名:叶娟  李新娥  李政清
作者单位:中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原,030051
基金项目:国防科技重点实验室基金资助项目
摘    要:设计了一种高精度、低成本的微小型电容式测压器.该测压器利用壳体本身作为压力敏感元件,将压力信号的改变通过瞬变小电容转换电路转换为电容值的变化,利用差动式直流充电法将电容信号转换为单片机可以采样存储的电压信号.该电容式测压器具有功耗低、体积小、分辨率高、成本低的特点.详细阐述了微小型电容式测压器的基本原理和具体实现,并通过比较ANSYS软件仿真结果和实测数据证明其可行性.

关 键 词:电容式测压器  瞬变小电容转换电路  差动式直流充电法  ANSYS

Design and implementation of micro integrated capacitive pressure measuring device
YE Juan,LI Xin-e,LI Zheng-qing.Design and implementation of micro integrated capacitive pressure measuring device[J].Transducer and Microsystem Technology,2011,30(7).
Authors:YE Juan  LI Xin-e  LI Zheng-qing
Abstract:
Keywords:
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