| 反应条件对氮(碳/氧)化硅薄膜性能的影响 |
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| 引用本文： | 王君,李芬,吉小利,储昭荣,徐国财. 反应条件对氮(碳/氧)化硅薄膜性能的影响[J]. 化学与生物工程, 2004, 21(1): 20-22 |
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| 作者姓名： | 王君 李芬 吉小利 储昭荣 徐国财 |
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| 作者单位： | 安徽理工大学化工系,安徽,淮南,232001;安徽理工大学化工系,安徽,淮南,232001;安徽理工大学化工系,安徽,淮南,232001;安徽理工大学化工系,安徽,淮南,232001;安徽理工大学化工系,安徽,淮南,232001 |
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| 基金项目： | 淮南科技基金(200201) |
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| 摘 要： | 就氮(碳／氧)化硅薄膜的反应条件——组成和结构——性能之间关系的国内外研究进行了综述。
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| 关 键 词： | 氮(碳/氧)化硅 反应条件 薄膜 |
| 文章编号： | 1672-5425(2004)01-0020-03 |
| 修稿时间： | 2003-11-13 |
The Effect of Reaction Circumstances on Properties of (Carbon) Silicon (Oxy) Nitride |
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| WANG Jun,LI Fen,JI Xiao-li,ZHU Zhao-rong,XU Guo-cai. The Effect of Reaction Circumstances on Properties of (Carbon) Silicon (Oxy) Nitride[J]. Chemistry & Bioengineering, 2004, 21(1): 20-22 |
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| Authors: | WANG Jun LI Fen JI Xiao-li ZHU Zhao-rong XU Guo-cai |
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| Abstract: | The study on relationship between reaction circumstances -composition-properties of (carbon) silicon (oxy)nitride home and abroad was reviewed in this article. |
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| Keywords: | (carbon) silicon (oxy)nitride reaction circumstances films |
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