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| 热处理与表面处理工艺 | |
| 摘 要： | 9915157阴极弧离子镀磁过滤器刊]/李刘合//真空.—1999,(3).—14～19(D)9915158大功率 AlGaAs-GaAs 激光器干涉镜和减反射膜的制备刊]/罗江财//四川真空.—1999,(1).—34～37(C)分别用磁控溅射和电子束蒸发技术,在大功率AlGaA_3-GaA_3激光器条端面上,制作了 SiO_2/Si 干涉镜和 Al_2O_3减反射膜。讨论了 Si 靶反应磁控溅射下,氧化硅层的淀积速率和影响镀层质量的因素。参5 |
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