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JEM-2000FX电镜电子束发生系统故障分析及检修
引用本文:马通达,孙继光,张希顺,陈朝相. JEM-2000FX电镜电子束发生系统故障分析及检修[J]. 电子显微学报, 2001, 20(4): 428-429
作者姓名:马通达  孙继光  张希顺  陈朝相
作者单位:1. 北京有色金属研究总院,
2. 日本电子产品维修站,
摘    要:JEM 2 0 0 0FX透射电镜 (TEM)在使用时经常出现电子束闪动 ,经过检修 ,更换了JEM 2 0 0 0FX电镜加速管分压电阻、灯丝 ,清除了高压电缆接入端等处的放电痕迹并将拆开的所有部件做了彻底清洗 ,最终排除了电子束闪动故障。分析全部检修过程可知 ,暗电流增加为加速管分压电阻阻值减小所致 ,在检修过程中发现有多处放电痕迹 ,说明存在系统放电现象 ,这势必导致整个电路电流 (包括灯丝电流 )的不稳定。故障现象 :据使用者反映 ,JEM 2 0 0 0FX透射电镜 (TEM)在使用时电子束经常闪动 ,即使在 1 2 0kV电压下使用电子束闪动也…

关 键 词:JEM-2000FX透射电镜 电子束闪动 故障分析 检修 放电痕迹 电路电流

Fault analysis and maintenance of electron gun and high voltage supply system in JEM-2000FX TEM
Abstract:
Keywords:
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