| 锆钛酸钡薄膜材料制备研究进展 |
| |
| 引用本文： | 陈华强,符春林,蔡苇. 锆钛酸钡薄膜材料制备研究进展[J]. 电子元件与材料, 2009, 28(10). DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2009.10.021 |
| |
| 作者姓名： | 陈华强 符春林 蔡苇 |
| |
| 作者单位： | 重庆科技学院,冶金与材料工程学院,重庆,401331;重庆科技学院,冶金与材料工程学院,重庆,401331;重庆科技学院,冶金与材料工程学院,重庆,401331 |
| |
| 基金项目： | 教育部"春晖"计划资助项目，重庆市教委科学技术研究资助项目，重庆科技学院大学生科技创新训练计划资助项目 |
| |
| 摘 要： | 综述了磁控溅射、脉冲激光沉积、sol-gel法制备锆钛酸钡(简称BZT)薄膜的研究现状,及其制备工艺参数与显微结构、介电性能的关系,提出了制备BZT薄膜材料需要解决的工艺和理论问题。
|
| 关 键 词： | 锆钛酸钡 制备 综述 铁电薄膜 |
Research progress on preparation of barium zirconate titanate thin film |
| |
| CHEN Huaqiang,FU Chunlin,CAI Wei. Research progress on preparation of barium zirconate titanate thin film[J]. Electronic Components & Materials, 2009, 28(10). DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2009.10.021 |
| |
| Authors: | CHEN Huaqiang FU Chunlin CAI Wei |
| |
| Abstract: | Research progress on preparation methods,such as magnetron sputtering,pulsed laser deposition and sol-gel,and process parameters dependence of microstructure and dielectric properties of barium zirconate titanate (BZT for short) thin film are reviewed. Some technical and theoretic problems on preparating BZT thin film materials are discussed. |
| |
| Keywords: | barium zirconium titanate preparation review ferroelectric thin film |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
