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| 大气压氦气射频介质阻挡辉光放电的均匀性研究 | |
| 引用本文： | 毛志国,朱强,李森,刘忠伟,陈强.大气压氦气射频介质阻挡辉光放电的均匀性研究[J].真空科学与技术学报,2015,35(6). |
| 作者姓名： | 毛志国 朱强 李森 刘忠伟 陈强 |
| 作者单位： | 1. 北方工业大学理学院 北京100144 2. 北京印刷学院等离子体物理及材料研究室 北京102600 3. 上海出版印刷高等专科学校 上海200093 |
| 摘 要： | 为了研究大气压射频介质阻挡辉光放电的时空特性,采用一个表面覆盖有石英介质的铜电极和一个自制水电极的放电系统,在氦气中获得了大面积和较大电极间距下的辉光放电。对ICCD高速相机拍摄的径向放电图像和轴向放电图像分析揭示了射频介质阻挡辉光放电不仅具有较好的径向均匀性,而且具有很好的轴向均匀性,并不存在沿径向的发展。这是不同于中频介质阻挡辉光放电的一个显著特征。此外,注意到射频介质阻挡辉光放电在径向和轴向上的发展均与射频周期有很强的关联性。分析认为这是由于空间电荷在射频介质阻挡辉光放电的形成和发展中发挥主导作用。因此,可以认为射频介质阻挡辉光放电所具备非常好的径向和轴向均匀性,与中频介质阻挡辉光放电相比,可能会更有利于工业生产中进行均匀薄膜沉积和对薄膜表面改性处理等。 |
| 关 键 词： | 射频介质阻挡辉光放电 均匀性 空间电荷 表面电荷 |
Uniformity of Radio Frequency Dielectric Barrier Glow Discharge in Atmospheric Helium Plasma |
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| Mao Zhiguo,Zhu Qiang,Li Sen,Liu Zhongwei,Chen Qiang.Uniformity of Radio Frequency Dielectric Barrier Glow Discharge in Atmospheric Helium Plasma[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2015,35(6). | |
| Authors: | Mao Zhiguo Zhu Qiang Li Sen Liu Zhongwei Chen Qiang |
| Abstract: | |
| Keywords: | RF-DBGDAP Uniformity Space charge Surface charge |
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