| 用Langmuir探针法标定的发射光谱法诊断等离子体电子密度及分布 |
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| 引用本文： | 陈宗胜,林志丹,时家明,马丽芳. 用Langmuir探针法标定的发射光谱法诊断等离子体电子密度及分布[J]. 真空科学与技术学报, 2015, 35(6) |
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| 作者姓名： | 陈宗胜 林志丹 时家明 马丽芳 |
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| 作者单位： | 1. 脉冲功率激光技术国家重点实验室电子工程学院 合肥230037
2. 陆军军官学院弹药研究所 合肥230031 |
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| 摘 要： | 电子密度是低温等离子体的重要参数之一,仅采用发射光谱或Langmuir探针一种诊断方法,很难测量出该参数及其分布。针对这一问题,提出了用Langmuir探针法标定的发射光谱法,用于诊断等离子体电子密度及其分布。通过对一定长度表面波等离子体源的实验测量,验证了该方法的可行性。对于电子温度变化不大的等离子体,利用本文提出的诊断方法,可以测量出其电子密度及其分布。提出的诊断方法为低温等离子体参数的实验诊断提供了一种新的途径。
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| 关 键 词： | 等离子体 Langmuir探针 发射光谱 诊断 |
Diagnosis of Electron Density Distribution of Plasma with Emission Spectroscopy Demarcated by Langmuir Probe |
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| Chen Zongsheng,Lin Zhidan,Shi Jiaming,Ma Lifang. Diagnosis of Electron Density Distribution of Plasma with Emission Spectroscopy Demarcated by Langmuir Probe[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2015, 35(6) |
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| Authors: | Chen Zongsheng Lin Zhidan Shi Jiaming Ma Lifang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Plasma Langmuir probe Emission spectroscopy Diagnosis |
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