| 7A04铝合金表面DLC薄膜制备及性能研究 |
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| 引用本文： | 苏永要,王锦标.7A04铝合金表面DLC薄膜制备及性能研究[J].真空科学与技术学报,2015,35(5). |
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| 作者姓名： | 苏永要 王锦标 |
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| 作者单位： | 重庆文理学院新材料技术研究院 重庆402160;重庆市高校微纳米材料工程与技术重点实验室 重庆402160 |
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| 摘 要： | 为提高7A04铝合金的表面性能,利用射频辅助等离子体浸没离子注入与沉积设备,在其表面制备类金刚石(DLC)薄膜。由于DLC薄膜与铝合金基体力学性能差别较大,导致膜基结合力差。本研究采用非平衡磁控溅射技术预先沉积一层Si膜,作为过渡层改善膜基结合力;利用激光拉曼光谱仪、维式显微硬度计、纳米划痕仪、摩擦磨损试验机等设备,系统分析了薄膜结构、显微硬度、膜基结合力及耐磨损性能。结果表明,Si过渡层的制备提高了基体的承载能力和膜基结合力,进而使耐磨损性能得到大幅度提高。
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| 关 键 词： | 铝合金 过渡层 类金刚石 磨损性能 |
Synthesis of Diamond-Like Carbon Coatings on 7A04 Al-Alloy Surfaces Modified with Si-Layer |
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| Su Yongyao,Wang Jinbiao.Synthesis of Diamond-Like Carbon Coatings on 7A04 Al-Alloy Surfaces Modified with Si-Layer[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2015,35(5). |
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| Authors: | Su Yongyao Wang Jinbiao |
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| Keywords: | Aluminium alloy Interlayer Diamond like carbon Tribological properties |
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