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| 电弧离子镀沉积TiC_x薄膜的结构和性能研究 | |
| 引用本文： | 马贺,张林,马国佳,林国强. 电弧离子镀沉积TiC_x薄膜的结构和性能研究[J]. 真空科学与技术学报, 2015, 35(5) |
| 作者姓名： | 马贺 张林 马国佳 林国强 |
| 作者单位： | 1. 北京航空制造工程研究所高能束流加工技术重点实验室 北京 100024 2. 北京航空制造工程研究所高能束流加工技术重点实验室 北京 100024;大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室 大连116024 3. 大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室 大连116024 |
| 摘 要： | 采用脉冲偏压电弧离子镀沉积系统,在W6Mo5Cr4V2高速钢基体上制备出不同成分的TiCx薄膜。通过扫描电镜、X射线衍射、X射线光电子谱及拉曼光谱对薄膜的表面形貌和微观结构进行分析;采用纳米压痕和摩擦磨损试验来表征薄膜的力学性能。结果表明:所制备的薄膜为富碳TiCx薄膜,富碳成分均以非晶碳形式存在。随着非晶碳组分的增加,薄膜硬度和弹性模量逐渐降低,获得的最高值分别为36GPa和381GPa,同时薄膜的摩擦系数在0.2~0.3之间。 |
| 关 键 词： | TiCx薄膜 电弧离子镀 力学性能 |
Microstructures and Mechanical Properties of TiCx Coatings Deposited by Arc Ion Plating |
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| Ma He,Zhang Lin,Ma Guojia,Lin Guoqiang. Microstructures and Mechanical Properties of TiCx Coatings Deposited by Arc Ion Plating[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2015, 35(5) | |
| Authors: | Ma He Zhang Lin Ma Guojia Lin Guoqiang |
| Abstract: | |
| Keywords: | TiCx films Arc ion plating Mechanical properties |
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