| 基于石英基片的应变灵敏度分析 |
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| 引用本文： | 李夏喜,郭霄鹏,白永强,刘晓彬,邢琳琳,汪彤.基于石英基片的应变灵敏度分析[J].压电与声光,2015,37(5):896-898. |
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| 作者姓名： | 李夏喜 郭霄鹏 白永强 刘晓彬 邢琳琳 汪彤 |
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| 作者单位： | （1.北京市燃气集团有限责任公司,北京100035；,2.北京理工大学 光电学院,北京100081；,3.北京市劳动保护科学研究所,北京100054;,4.秦皇岛中科网新自动化系统集成有限公司,河北 秦皇岛066004） |
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| 基金项目： | 北京市科委基金资助项目（Z131100004113002）；北京市燃气集团有限责任公司基金资助项目（T13JK004）；秦皇岛科技基金资助项目（201301B053） |
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| 摘 要： | 给出了一种声表面波(SAW)应变传感器石英基片各切向灵敏度的分析方法,以微扰理论为基础构建有限元模型计算应变量,并以此计算出SAW频率相对偏移量,分析计算不同切向下石英基片的应变灵敏度,并选取了应变灵敏度较高且温度灵敏度较低的ST-X切石英进行实验。实验测得应变灵敏度为0.382kHz/με,与理论计算结果(0.590kHz/με)基本一致,验证了理论分析方法的正确性。
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| 关 键 词： | 声表面波(SAW) 石英切向 应变传感器 微扰理论 应变灵敏度 |
Analysis of Strain Sensitivity Based on Quartz Substrate |
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| LI Xiaxi,GUO Xiaopeng,BAI Yongqiang,LIU Xiaobin,XING Linlin and WANG Tong.Analysis of Strain Sensitivity Based on Quartz Substrate[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2015,37(5):896-898. |
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| Authors: | LI Xiaxi GUO Xiaopeng BAI Yongqiang LIU Xiaobin XING Linlin and WANG Tong |
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| Affiliation: | (1. Beijing Gas Co., Ltd.,Beijing 100035,China;,2. Beijing Institute of Technology,Beijing 100081,China;,3.The Beijing Municipal Institute of Labour Protection, Beijing 100054,China;,4. Qinhuangdao Emenet Co.,Ltd., Qinhuangdao 066004,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | surface acoustic wave cuts of quartz strain sensor perturbation theory strain sensitivity |
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