| 石墨靶和钛靶共溅射制备的TiCN薄膜的结构和性能 |
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| 引用本文： | 鲜广,赵海波,范洪远,王辉,王均,杜昊. 石墨靶和钛靶共溅射制备的TiCN薄膜的结构和性能[J]. 真空科学与技术学报, 2015, 35(5) |
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| 作者姓名： | 鲜广 赵海波 范洪远 王辉 王均 杜昊 |
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| 作者单位： | 1. 四川大学制造科学与工程学院 成都610065
2. 四川大学分析测试中心 成都610065 |
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| 摘 要： | 在氮气和氩气的混合气氛下通过共溅射石墨靶和钛靶在M2高速钢基体上制备TiCN薄膜,利用扫描电子显微镜和X射线衍射仪分析TiCN薄膜的组织与结构,采用纳米压痕仪检测TiCN薄膜的硬度,同时采用压痕法和划痕法评价薄膜与基体的结合状况,并对TiCN薄膜丝锥进行切削试验,考察TiCN薄膜的耐用性。结果表明:TiCN薄膜中的C原子以固溶于TiN晶格形式存在,TiCN薄膜在(111)晶面的取向较TiN薄膜明显减弱,TiCN薄膜的断口为长块状结构,其横向尺寸较TiN薄膜小,TiCN薄膜表面呈凹凸状。TiCN薄膜与基体的结合力为40N左右,C原子在TiCN薄膜中具有固溶强化和细晶强化作用,TiCN薄膜的硬度由TiN薄膜的20.3提高到33.4GPa。TiCN薄膜具有良好的减摩性能,攻丝40Cr材质时TiCN薄膜丝锥的使用寿命较TiN薄膜丝锥和无涂层丝锥明显提高。
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| 关 键 词： | 石墨靶 TiCN薄膜 溅射 结合强度 丝锥 |
Growth of TiCN Coatings by Co-Sputtering of Graphite and Titanium Targets |
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| Xian Guang,Zhao Haibo,Fan Hongyuan,Wang Hui,Wang Jun,Du Hao. Growth of TiCN Coatings by Co-Sputtering of Graphite and Titanium Targets[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2015, 35(5) |
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| Authors: | Xian Guang Zhao Haibo Fan Hongyuan Wang Hui Wang Jun Du Hao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Graphite target TiCN film Magnetron sputtering Adhesion strength Taps |
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