| 溅射Co—Cr—Al—Y涂层的结构 |
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| 引用本文： | 楼翰一,王福会,嵇立润,张立新. 溅射Co—Cr—Al—Y涂层的结构[J]. 金属学报, 1989, 25(6): 96-101 |
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| 作者姓名： | 楼翰一 王福会 嵇立润 张立新 |
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| 作者单位： | 中国科学院金属腐蚀与防护研究所，中国科学院金属腐蚀与防护研究所，中国科学院金属腐蚀与防护研究所，中国科学院金属腐蚀与防护研究所 副研究员，沈阳(110015) |
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| 摘 要： | 研究了平面磁控溅射Co-30Cr-6Al-0.5Y涂层的结晶组织及溅射参数对它的影响。结果表明,溅射层由hcp ε-Co或fcc α-Co钴固溶体与极少量βCoAl相组成。ε-Co在〈100〉,fcc α-Co在〈110〉方向有择优取向,晶体类型和择优取向程度与溅射条件有关。溅射时样品在靶前固定,则溅射层晶粒细,结构致密,表面光洁度好;样品在靶前旋转,则结果相反。
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| 关 键 词： | 溅射 Co－Cr－Al－Y 涂层 磁控溅射 |
| 收稿时间： | 1989-06-18 |
| 修稿时间： | 1989-06-18 |
STRUCTURE OF SPUTTERED Co-Cr-Al-Y COATING |
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| LOU Hanyi,WANG Fuhui,JI Lirun,ZHANG Lixin Institute of Corrosion and Protection of Metals,Academia Sinica,Shenyang LOU Hanyi,associate professor. STRUCTURE OF SPUTTERED Co-Cr-Al-Y COATING[J]. Acta Metallurgica Sinica, 1989, 25(6): 96-101 |
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| Authors: | LOU Hanyi WANG Fuhui JI Lirun ZHANG Lixin Institute of Corrosion Protection of Metals Academia Sinica Shenyang LOU Hanyi associate professor |
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| Affiliation: | LOU Hanyi,WANG Fuhui,JI Lirun,ZHANG Lixin Institute of Corrosion and Protection of Metals,Academia Sinica,Shenyang LOU Hanyi,associate professor,Institute of Corrosion And Protection of Metals,Academia Sinica. Shenvana |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | magnetron sputtering Co-Cr-Al-Y coating |
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