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| 在石英玻璃表面制成碳化硅膜的方法 | |
| 引用本文： | 罗铁庄,金虹.在石英玻璃表面制成碳化硅膜的方法[J].玻璃,1989,16(6):43-43. |
| 作者姓名： | 罗铁庄 金虹 |
| 作者单位： | 不详 |
| 摘 要： | 本发明是关于在石英玻璃表面制成碳化硅膜的方法,众所周知,碳化硅是非常硬而坚固的物质,其薄膜也非常致密,无论化学强度和物理强度都很高,故用来作保护膜.以前,碳化硅膜制作方法是使SiCl_4.与 |
| 关 键 词： | 石英玻璃 碳化硅膜 玻璃表面 |
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