内燃结构氢氧合成氧化不均匀的原因及对策

从流体力学和传热学的角度，分析了在口径氧化炉中，采用内燃结构进行了氢氧合成氧化，造成硅片氧化层厚度不均匀的原因。并根据流体力学和传热学的原理，提出了解决这一问题的方法－设计了扰了流隔热装置。