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| 干涉定位法及其在超精检测中的应用 | |
| 引用本文： | 杨俊才,黄松筠. 干涉定位法及其在超精检测中的应用[J]. 应用激光, 1995, 0(3) |
| 作者姓名： | 杨俊才 黄松筠 |
| 作者单位： | 国防科技大学应用物理系 |
| 摘 要： | 叙述了激光干涉定位的原理及方法，定位精度可达０．０１μｍ，采用条纹细分技术进行微位移检测，精度为０．０１μｍ，并将上述方法用于物件平行度检测。 |
| 关 键 词： | 干涉定位，相敏检波，条纹细分，超精检测 |
Interferometic Positioner and its Application in Precise Measurements |
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| Yang Juncai, Huang Songjun. Interferometic Positioner and its Application in Precise Measurements[J]. Applied Laser, 1995, 0(3) | |
| Authors: | Yang Juncai Huang Songjun |
| Abstract: | |
| Keywords: | interferometic positioner OPSWD split phase of interference fringes precise measurement |
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