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| 南玻玻璃镀膜自动控制系统 | |
| 引用本文： | 郝向东,张晓江,张旺林.南玻玻璃镀膜自动控制系统[J].电气时代,2005(12):56-57. |
| 作者姓名： | 郝向东 张晓江 张旺林 |
| 作者单位： | 1. 合肥工业大学 2. 深圳达实智能有限公司 |
| 摘 要： | 玻璃要实现镀膜要经历从正常气压到真空,再到正常气压几个过渡过程,为了控制镀膜厚度,保证镀膜质量,对工艺气体配气控制、阴极电源控制(化学反应部分)、真空泵抽气系统控制及传动系统控制等,以及相互间的联动提出了极高要求。 |
| 关 键 词： | 自动控制系统 玻璃镀膜 传动系统控制 过渡过程 镀膜厚度 工艺气体 化学反应 电源控制 真空泵 膜质量 |
| 修稿时间： | 2005年11月24 |
Automatic Control System for Glass Filming in Nanbo Group |
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| Keywords: | |
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