| 微热管的灌注抽真空制造技术 |
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| 引用本文： | 陆龙生,汤勇,袁冬,蒋乐伦.微热管的灌注抽真空制造技术[J].机械工程学报,2009,45(6). |
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| 作者姓名： | 陆龙生 汤勇 袁冬 蒋乐伦 |
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| 作者单位： | 华南理工大学机械与汽车工程学院,广州,510640 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(U0834002,50605023,50705031);;广东省自然科学基金(07118064,8151064101000058)资助项目 |
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| 摘 要： | 微热管是高热流密度光电芯片领域广泛应用的高效热传导元件,抽真空和灌注是其性能的重要影响工序。通过分析目前微热管制造工艺中常用的抽真空灌注技术,提出灌注抽真空微热管制造技术;分析该技术的工作原理和二次除气理论,建立工质额外充液量、微热管工作死区、二次除气集气段长度等数学模型;对比分析抽真空灌注与灌注抽真空两种制造技术的特点;搭建微热管性能测试平台,对采用灌注抽真空技术制造的铜—水沟槽式微热管进行性能测试;对比研究引入额外充液量前后,灌注抽真空技术制造的微热管传热性能的差异,发现引入额外充液量后,微热管性能提高了12倍。试验结果表明灌注抽真空技术可以很好地满足微热管的制造需求。
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| 关 键 词： | 微热管 抽真空 充液量 工作死区 |
Micro Heat Pipe Manufacturing Technology of Vacuuming and Filling Work Fluid |
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| LU Longsheng,TANG Yong,YUAN Dong,JIANG Lelun.Micro Heat Pipe Manufacturing Technology of Vacuuming and Filling Work Fluid[J].Chinese Journal of Mechanical Engineering,2009,45(6). |
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| Authors: | LU Longsheng TANG Yong YUAN Dong JIANG Lelun |
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| Affiliation: | School of Mechanical and Automotive Engineering;South China University of Technology;Guangzhou 510640 |
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| Abstract: | Micro heat pipe is an apparatus with high effective heat transfer efficiency for complementary metal oxide semiconductor (CMOS) chips which have high heat flux in a limited space, and its manufacturing technology of vacuuming and filling working fluid is critical for its quality. The conventional micro heat pipe manufacturing technology of first vacuuming then filling working fluid (FVFW) is analyzed, the manufacturing technology of first filling working fluid then vacuuming (FWFV) is proposed. The principl... |
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| Keywords: | Micro heat pipe Vacuum Liquid inventory Work dead zone |
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