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| 软X射线多层膜反射镜界面粗糙度的一种估算方法 | |
| 作者姓名： | 宋利民 胡家升 |
| 作者单位： | 大连理工大学电子与信息工程学院, |
| 摘 要： | 介绍了D.G.Sterns的散射方法,用它来描述单个非理想粗糙界面的散射,它适用于软X射线短波段区域.将这种方法应用到多层膜结构,并采用D.G.Sterns方法的数学模型来描述软X射线短波段区域(1～10 nm)多层膜界面粗糙度.在这个理论的框架下,对我们所研制的波长为4.77 nm的Co/C多层膜反射镜界面粗糙度进行分析,估算出该多层镜界面间均方根粗糙度为0.7 nm.粗糙度估算结果与小角X射线衍射的测定结果相一致.(PE13) |
| 关 键 词： | 软X射线 多层膜反射镜 界面粗糙度 估算方法 |
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