|
|||||
|
|
| 粉末溅射金属氧化物气敏薄膜和元件Ⅰ．粉末溅射金属氧化物气敏薄膜 | |
| 引用本文： | 田芳,郭晓丽,张颖欣,王倩,裘南畹.粉末溅射金属氧化物气敏薄膜和元件Ⅰ．粉末溅射金属氧化物气敏薄膜[J].山东工业大学学报,2008,38(5). |
| 作者姓名： | 田芳 郭晓丽 张颖欣 王倩 裘南畹 |
| 作者单位： | [1]山东大学化学与化工学院,山东济南250100 [2]济南半导体实验所,山东济南250100 [3]山东大学物理学院,山东济南250100 |
| 摘 要： | 利用反溅，发展了粉末溅射工艺；指出了粉末溅射对研制稳定的薄膜气敏元件的重要性；给出了粉末掺杂比与薄膜掺杂比关系的实验结果；给出了SnO2（100-x）／CeO2（x）最佳灵敏度的掺杂x％的范围；给出了灵敏度随膜厚变化的特征，以及一些薄膜的最佳膜厚l^x的数值；给出了响应时间随膜厚变化的规律． |
| 关 键 词： | 粉末溅射 最佳膜厚 响应时间 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |