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| MEMS薄膜磁学特性的在线测试结构 | |
| 引用本文： | 刘林生,刘肃,黄庆安. MEMS薄膜磁学特性的在线测试结构[J]. 微纳电子技术, 2005, 42(4): 184-187 |
| 作者姓名： | 刘林生 刘肃 黄庆安 |
| 作者单位： | 1. 兰州大学,兰州,730000;东南大学,南京,210096 2. 兰州大学,兰州,730000 3. 东南大学,南京,210096 |
| 基金项目： | 国家863项目先进制造与自动化技术领域课题(2003AA40401)资助 |
| 摘 要： | 为了能实时监控MEMS器件的一些重要指标,人们对器件包括热导率,断裂强度等材料的属性进行了深入研究。由于MEMS磁学特性的复杂性,对MEMS磁学特性在线测量研究得很少。本文分析了具有代表性的薄膜磁学特性测试结构的原理及优缺点,并结合MEMS在线测试的特点提出了一种比较适合MEMS在线测试的新结构。 |
| 关 键 词： | 磁导率 磁化强度 在线测试结构 微机电系统薄膜 |
| 文章编号： | 1671-4776(2005)04-0184-04 |
| 修稿时间： | 2004-09-13 |
In-Situ Test Structures of MEMS Thin Films Magnetic Properties |
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| LIU Lin-sheng,LIU Su,HUANG Qing-an. In-Situ Test Structures of MEMS Thin Films Magnetic Properties[J]. Micronanoelectronic Technology, 2005, 42(4): 184-187 | |
| Authors: | LIU Lin-sheng LIU Su HUANG Qing-an |
| Affiliation: | LIU Lin-sheng1,2,LIU Su1,HUANG Qing-an2 |
| Abstract: | In order to monitor some important characteristics of MEMS devices,much research work was done including thermal conductivity and fracture strength. It is so complicated that there are almost no studies on in-situ test structures of MEMS magnetic properties. In this paper some test structures and methods for the films and compares their advantages and disadvantages are introduced,and a new structure that fits for on-line test is presented. |
| Keywords: | magnetic permeability magnetization intensity in situ rest structure MEMS thin film |
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