| 低刚度高谐振频率的新型微压电悬臂梁探针的结构设计 |
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| 引用本文： | 赵钢,褚家如.低刚度高谐振频率的新型微压电悬臂梁探针的结构设计[J].传感技术学报,2006,19(5):1348-1353. |
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| 作者姓名： | 赵钢 褚家如 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,合肥,230027;中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,合肥,230027 |
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| 基金项目： | 中国科技大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 以超高密度信息存储技术为应用背景,设计了低刚度高谐振频率的新型微压电悬臂梁探针,并安排了探针加工工艺流程.通过建立更接近真实结构的悬臂梁模型,推导出了非矩形不等截面多层材料复合悬臂梁的弹性常数和谐振频率计算公式,并算出设计的悬臂梁探针的弹性常数和谐振频率分别为4 N/m和245 kHz.通过悬臂梁几何参数对力学性能影响的分析,从力学性能的角度对用于超高密度信息存储的悬臂梁探针进行了几何尺寸的优化.
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| 关 键 词： | 超高密度信息存储 微型压电悬臂梁 结构设计 刚度 谐振频率 |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-1348-06 |
| 修稿时间： | 2006年7月1日 |
Structural Design of Novel Micro Piezoelectric Cantilevers with
Low Stiffness and High Resonance Frequency |
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| ZHAO Gang,CHU Jia-ru.Structural Design of Novel Micro Piezoelectric Cantilevers with
Low Stiffness and High Resonance Frequency[J].Journal of Transduction Technology,2006,19(5):1348-1353. |
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| Authors: | ZHAO Gang CHU Jia-ru |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ultra-high-density data storage micro piezoelectric cantilever structural design stiffness resonant frequency |
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