| 高温光栅质量控制因素研究 |
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| 引用本文： | 谢惠民,张维,邹大庆,戴福隆,王国弢. 高温光栅质量控制因素研究[J]. 测试技术学报, 1996, 0(3) |
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| 作者姓名： | 谢惠民 张维 邹大庆 戴福隆 王国弢 |
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| 作者单位： | 清华大学，清华大学，中国兵工物资总公司，中国兵工物资总公司，中国兵工物资总公司 北京 100084，北京 100084，北京 100045，北京 100045，北京 100045 |
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| 摘 要： | 本文对光刻腐蚀法、光刻镀(涂)层法、镀层腐蚀法、双镀层法等多种高温栅制作工艺进行了详细的讨论,对它们的适用范围及所制光栅的质量控制因素进行了分析,首次提出了多介质镀层法制作高温光栅的新工艺,并成功地制作出可耐1000℃的多介质镀层高温栅,高温氧化实验结果表明,多介质高温栅具有较好的抗氧化能力。
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| 关 键 词： | 高温光栅 云纹法 网格法 云纹干涉法 |
A STUDY ON THE CONTROL FACTORS OF THE GRATINGS FOR HIGH TEMPERATURE |
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| Xie Huimin Zhang Wei. A STUDY ON THE CONTROL FACTORS OF THE GRATINGS FOR HIGH TEMPERATURE[J]. Journal of Test and Measurement Techol, 1996, 0(3) |
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| Authors: | Xie Huimin Zhang Wei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | grating for high temperatures moire method grid method moire interferometry |
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