溅射中性粒子质谱(SNMS)

溅射中性粒子质谱或称二次中性粒子质谱(SNMS)是一种新的表面分析技术。与二次离子质谱(SIMS)一样,其检测灵敏度高达ppm—ppb。由于中性粒子的溅射产额不受基体的影响,因而SNMS可简单并准确定量。直接轰击模式的SNMS作深度剖析可用能量很低的一次离子轰击源以避免级联混合效应,从而获得极高的深度分辨率。