| PLD法制备氧化锌薄膜生长机制及发光特性的研究 |
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| 引用本文： | 谢可可,仇旭升,孔明光,刘炳龙,汪壮兵,于永强,章伟,梁齐.PLD法制备氧化锌薄膜生长机制及发光特性的研究[J].材料导报,2008,22(Z1). |
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| 作者姓名： | 谢可可 仇旭升 孔明光 刘炳龙 汪壮兵 于永强 章伟 梁齐 |
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| 基金项目： | 教育部留学归国人员实验室建设项目(新型微电子薄膜研究室) |
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| 摘 要： | 利用PLD法在Si衬底上成功地制备了具有较好C轴择优取向生长的ZnO薄膜,从样品的XRD谱可以看出在环境氧压为20Pa,衬底温度为700℃时生长的样品的XPD谱(002)峰半高宽较窄,膜的结晶程度最好.不同的衬底温度下膜的生长机制也不一样,主要有:V-L-S机制和V-S机制.样品室温下的PL谱显示所有样品均出现UV发射和可见光区蓝绿光发射,而蓝绿光发射强度随氧压的增大而增强,表明样品的蓝绿光发射来源于样品中的受主缺陷.
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 PL谱 |
Growth Mechanisms and Photoluminescent Properties of ZnO Thin Films Prepared by Pulsed Laser Deposition |
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| XIE Keke,QIU Xusheng,KONG Mingguang,LIU Binglong,WANG Zhuangbing,YU Yongqiang,ZHANG Wei,LIANG Qi.Growth Mechanisms and Photoluminescent Properties of ZnO Thin Films Prepared by Pulsed Laser Deposition[J].Materials Review,2008,22(Z1). |
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| Authors: | XIE Keke QIU Xusheng KONG Mingguang LIU Binglong WANG Zhuangbing YU Yongqiang ZHANG Wei LIANG Qi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | PLD XRD |
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