基于动电极翻转的MEMS万向惯性开关

针对现有的MEMS惯性开关万向性能较差,无法满足引信在大着角情况下可靠作用要求的问题,提出了基于动电极翻转的MEMS万向惯性开关。该开关采用周向分布弹簧支撑可翻转一定角度的圆形动电极,开关盖板为固定电极。由于动电极质心高于弹簧质心,在引信大着角撞击目标时,惯性力的分量会产生翻转力矩,使得动电极能够翻转一定角度与固定电极接触,增大了惯性开关的响应角度。仿真和试验结果表明,采用该结构惯性开关的响应角度能够达到120°。为引信实现大着角情况下的可靠响应提供设计参考。