| 应力制约的InSb焦平面探测器均匀性 |
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| 引用本文： | 曹光明,耿东峰,徐淑丽,蒲季春,杨雪锋,李龙,何英杰,吴伟,张国栋,付浩. 应力制约的InSb焦平面探测器均匀性[J]. 红外与激光工程, 2007, 36(Z1) |
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| 作者姓名： | 曹光明 耿东峰 徐淑丽 蒲季春 杨雪锋 李龙 何英杰 吴伟 张国栋 付浩 |
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| 摘 要： | 采用焦平面探测器均匀性作为衡量InSb芯片承受应力的方法,通过工艺改进有效地降低了应力水平,提高了128×128 InSb焦平面探测器的均匀性,取得了响应非均匀性为3.0%的结果.
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| 关 键 词： | InSb 焦平面探测器 应力 均匀性 |
Stress-limited nonuniformity of InSb focal plane array detectors |
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| CAO Guang-ming,GENG Dong-feng,XU Shu-li,PU Ji-chun,YANG Xue-feng,LI Long,HE Ying-jie,WU Wei,ZHANG Guo-dong,FU Hao. Stress-limited nonuniformity of InSb focal plane array detectors[J]. Infrared and Laser Engineering, 2007, 36(Z1) |
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| Authors: | CAO Guang-ming GENG Dong-feng XU Shu-li PU Ji-chun YANG Xue-feng LI Long HE Ying-jie WU Wei ZHANG Guo-dong FU Hao |
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