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| 压阻掺杂浓度对高gn加速度计动态性能影响 | |
| 引用本文： | 杨尊先,李昕欣,于映,林丽华,陈国南.压阻掺杂浓度对高gn加速度计动态性能影响[J].传感器与微系统,2008,27(12). |
| 作者姓名： | 杨尊先 李昕欣 于映 林丽华 陈国南 |
| 作者单位： | 1. 福州大学,食品安全分析与检测教育部重点实验室,福建,福州,350002;福州大学电子科学与技术系,福建,福州,350108 2. 中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200050 3. 福州大学,食品安全分析与检测教育部重点实验室,福建,福州,350002 |
| 基金项目： | 福建省自然科学基金，福建省教育厅科科研计划 |
| 摘 要： | 采用有限元方法研究在不同压阻工作温度下压阻掺杂浓度对高gn加速度计动态冲击性能的影响。结果表明：器件动态冲击响应是受迫振动与悬臂梁固有振动叠加的结果，且压阻灵敏度系数与工作温度成正比。当T〈20℃时，悬臂梁固有振动明显，并且，器件动态冲击响应峰值电压随着压阻掺杂浓度升高而降低；当r在20℃附近，峰值电压随掺杂浓度变化不明显；当T〉20℃时，随着温度升高，悬臂梁固有振动频率渐受压制，传感器动态冲击响应渐表现为受加速度冲击受迫振动，且峰值电压随掺杂浓度提高而增大。在1×10”～1×10^21cm^-3。范围内，在0，20，100℃时，峰值电压差值分别为2，0，9mV。 |
| 关 键 词： | 高gn加速度计 压阻掺杂浓度 耦合振动 动态冲击特性 |
Effect of impurity concentration of piezoresistor on dynamic shock response performance of high gn accelerometer |
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| YANG Zun-xian,LI Xin-xin,YU Ying,LIN Li-hua,CHEN Guo-nan.Effect of impurity concentration of piezoresistor on dynamic shock response performance of high gn accelerometer[J].Transducer and Microsystem Technology,2008,27(12). | |
| Authors: | YANG Zun-xian LI Xin-xin YU Ying LIN Li-hua CHEN Guo-nan |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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