| 多层PT/PZT薄膜的结构特性研究 |
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| 引用本文： | 郑俊华,谭秋林,唐力程. 多层PT/PZT薄膜的结构特性研究[J]. 压电与声光, 2016, 38(6): 1034-1036 |
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| 作者姓名： | 郑俊华 谭秋林 唐力程 |
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| 作者单位： | （1.中北大学 电子测试技术国家重点实验室，山西 太原 030051；,2.中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室，山西 太原 030051) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（51205373） |
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| 摘 要： | 通过溶胶-凝胶（Sol-Gel）法在Pt/Ti/SiO2/Si基底上制备了多层PT/PZT（PbTiO3/Pb(Zr0.52Ti0.48)O3）薄膜，研究了不同退火时间对其纳米结构、结晶性能及相变特性的影响。利用FESEM测试了不同退火时间对薄膜纳米结构的影响，选用XRD与Raman分析了薄膜的结晶取向及相变特点。实验结果表明，随着退火时间的增加，薄膜的三方相向四方相转变，并具有（110）择优取向。退火时间为20 min是PZT薄膜的最佳退火时间，此时薄膜的结晶效果良好、晶粒大小均匀、具有纯钙钛矿结构，此种结构的薄膜有望应用于MEMS器件中。
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| 关 键 词： | 多层PT/PZT薄膜；压电材料；溶胶 凝胶法；钙钛矿结构；退火时间 |
Study on Structure Properties of PZT/PT Multilayered Thin Films |
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| ZHENG Junhu,TAN Qiulin,and TANG Licheng. Study on Structure Properties of PZT/PT Multilayered Thin Films[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2016, 38(6): 1034-1036 |
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| Authors: | ZHENG Junhu TAN Qiulin and TANG Licheng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | multilayer PT/PZT thin films piezoelectric materials Sol Gel preparation perovskite phase annealing time |
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