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责任编辑
分类号
杂志ISSN号
空心热阴极离子镀氮化钛涂层工艺的研究
作者姓名:
王玉魁
朱英臣
陈宝清
王斐杰
王绍庭
作者单位:
大连工学院离子镀科研组(王玉魁,朱英臣,陈宝清,王斐杰),大连工学院离子镀科研组(王绍庭)
摘 要:
空心热阴极离子镀是七十年代发展起来的物理气相沉积技术。目前国内外正在对这种技术的工艺、涂层形成机理和应用进行深入研究。本文主要研究钛蒸发速率的影响因素、氮分压对涂层相结构的影响,以及基板温度对涂层组织形态的影响。
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