空心热阴极离子镀氮化钛涂层工艺的研究

空心热阴极离子镀是七十年代发展起来的物理气相沉积技术。目前国内外正在对这种技术的工艺、涂层形成机理和应用进行深入研究。本文主要研究钛蒸发速率的影响因素、氮分压对涂层相结构的影响,以及基板温度对涂层组织形态的影响。