RF系统

SSEC3308是一种单晶圆湿法处理设备，小型机的产能为每小时180片晶圆。它有八个工艺模块，可以任意配置成各种特定的应用，比如两面清洗，湿刻，以及去胶工艺。晶圆可以通过晶圆盒（cassette），或者以300毫米FOUP、200毫米SMIF pods的形式进行处理。所有的工艺参数都是PC控制的。