| 大面积CdTe多晶薄膜的制备及其性能 |
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| 引用本文： | 蒋显辉,郑家贵,黎兵,夏庚培,武莉莉,冯良桓,蔡伟,张静全,李卫,雷智. 大面积CdTe多晶薄膜的制备及其性能[J]. 功能材料与器件学报, 2007, 13(1): 68-72 |
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| 作者姓名： | 蒋显辉 郑家贵 黎兵 夏庚培 武莉莉 冯良桓 蔡伟 张静全 李卫 雷智 |
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| 作者单位： | 四川大学材料科学与工程学院,成都,610064;四川大学材料科学与工程学院,成都,610064;四川大学材料科学与工程学院,成都,610064;四川大学材料科学与工程学院,成都,610064;四川大学材料科学与工程学院,成都,610064;四川大学材料科学与工程学院,成都,610064;四川大学材料科学与工程学院,成都,610064;四川大学材料科学与工程学院,成都,610064;四川大学材料科学与工程学院,成都,610064;四川大学材料科学与工程学院,成都,610064 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) , 高等学校博士学科点专项科研项目 |
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| 摘 要： | 通过研究大面积CdTe多晶薄膜沉积的升温过程,并调节石墨群边改进加热灯管的分布获得了较均匀的温场,在混合氩氧气氛下,用自行设计制造的近空间升华系统制备出了面积为300 mm×400 mm的大面积CdTe多晶薄膜,利用XRD、SEM研究其结构、成分和形貌,结果表明:CdTe薄膜呈(111)择优取向,且薄膜总体致密均匀,晶粒大小约为1 μm左右.用此大面积CdTe薄膜的不同部分制备的CdS/CdTe/ZnTe:Cu小面积太阳电池效率相差不大,说明薄膜的均匀性较好.
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| 关 键 词： | CdTe薄膜 近空间升华法 大面积 |
| 文章编号： | 1007-4252(2007)01-0068-05 |
| 修稿时间： | 2006-01-11 |
Preparation and property of large scale CdTe thin film |
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| JIANG Xian-hui,ZHENG Jia-gui,LI Bing,XIA Geng-pei,WU Li-li,FENG Liang-huan,CAI Wei,ZHANG Jing-quan,LI Wei,LEI Zhi. Preparation and property of large scale CdTe thin film[J]. Journal of Functional Materials and Devices, 2007, 13(1): 68-72 |
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| Authors: | JIANG Xian-hui ZHENG Jia-gui LI Bing XIA Geng-pei WU Li-li FENG Liang-huan CAI Wei ZHANG Jing-quan LI Wei LEI Zhi |
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| Keywords: | CdTe thin film close-spaced sublimation large-scale |
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